摘要：化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵的平坦化工藝，而控制研磨液中的大顆粒計(jì)數(shù)（LPC）對(duì)確保晶圓表面質(zhì)量和提高產(chǎn)品良率至關(guān)重要。隨著工藝向更小納米級(jí)發(fā)展，對(duì)LPC的檢測(cè)精度要求更高。文章討論了LPC檢測(cè)的技術(shù)難點(diǎn)，包括高濃度樣品干...
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摘要：化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）是半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵的平坦化工藝，而控制研磨液中的大顆粒計(jì)數(shù)（LPC）對(duì)確保晶圓表面質(zhì)量和提高產(chǎn)品良率至關(guān)重要。隨著工藝向更小納米級(jí)發(fā)展，對(duì)LPC的檢測(cè)精度要求更高。文章討論了LPC檢測(cè)的技術(shù)難點(diǎn)，包括高濃度樣品干...
過(guò)濾效率檢測(cè)儀是一種專門用于測(cè)量和評(píng)估過(guò)濾材料或過(guò)濾器對(duì)顆粒物、氣溶膠等污染物過(guò)濾效率的儀器。它廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、紡織科學(xué)技術(shù)、安全科學(xué)技術(shù)、空氣凈化、醫(yī)療、制藥、食品、電子、化工等多個(gè)領(lǐng)域。過(guò)濾效率檢測(cè)儀通過(guò)模擬實(shí)際工作環(huán)境，向測(cè)試系統(tǒng)...
過(guò)濾效率檢測(cè)儀是一種專門用于測(cè)量和評(píng)估過(guò)濾材料或過(guò)濾器對(duì)顆粒物、氣溶膠等污染物過(guò)濾效率的儀器。它廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、紡織科學(xué)技術(shù)、安全科學(xué)技術(shù)、空氣凈化、醫(yī)療、制藥、食品、電子、化工等多個(gè)領(lǐng)域。過(guò)濾效率檢測(cè)儀通過(guò)模擬實(shí)際工作環(huán)境，向測(cè)試系統(tǒng)...
在線激光粒度儀是一種用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和分析顆粒粒度分布的儀器，常用于工業(yè)過(guò)程控制中。這類儀器可以提供即時(shí)的數(shù)據(jù)反饋，幫助優(yōu)化生產(chǎn)過(guò)程，確保產(chǎn)品質(zhì)量，并滿足相關(guān)法規(guī)的要求。工作原理基于光的散射（衍射）現(xiàn)象。當(dāng)激光束穿過(guò)含有顆粒的介質(zhì)時(shí)，顆粒會(huì)散射...
全文共3140字，閱讀大約需要12分鐘1本文的應(yīng)用背景盡管銅化學(xué)機(jī)械平坦化(CMP)已成為半導(dǎo)體制造業(yè)實(shí)現(xiàn)集成電路局部和全局平坦化的關(guān)鍵技術(shù)，但在阻擋層CMP過(guò)程中仍有一些問(wèn)題需要克服，如有機(jī)殘留物、表面顆粒、蝶形缺陷、侵蝕和劃痕，其中，劃...
納米激光粒度分析儀，也稱為納米激光粒度儀或激光納米粒度儀，其工作原理基于顆粒在液體中的布朗運(yùn)動(dòng)及光散射現(xiàn)象。當(dāng)單色激光照射到懸浮在液體中的納米粒子上時(shí)，粒子會(huì)散射光線。由于粒子在液體中做布朗運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)致散射光的強(qiáng)度隨時(shí)間隨機(jī)波動(dòng)。通過(guò)光電探測(cè)...
在線計(jì)數(shù)粒徑檢測(cè)儀是一種集自動(dòng)進(jìn)樣、自動(dòng)稀釋、自動(dòng)檢測(cè)、數(shù)據(jù)處理以及自動(dòng)清洗等全自動(dòng)檢測(cè)功能于一身的先進(jìn)設(shè)備，它為用戶提供了方便、快捷、高效、可靠的粒徑分析解決方案。其原理主要基于光的散射或衍射現(xiàn)象，這些現(xiàn)象與顆粒的大小、形狀、折射率以及入...
不溶性微粒檢測(cè)儀是一種用于檢測(cè)液體中不溶性微粒大小和數(shù)量的重要分析儀器，主要采用光阻法或顯微計(jì)數(shù)法來(lái)檢測(cè)液體樣品中的不溶性微粒。光阻法是通過(guò)激光束照射樣本，利用散射光信號(hào)的強(qiáng)度和方向來(lái)確定微粒的數(shù)量和尺寸。顯微計(jì)數(shù)法則是通過(guò)顯微鏡觀察并計(jì)數(shù)...
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